一、啟動前準備

 

　　啟動分子泵組前，必須完成系統狀態確認。首先檢查各連接部位的密封性，確保無泄漏隱患。其次確認前級泵油位處于正常范圍，油質清澈無乳化變質現象。同時檢查冷卻系統是否通暢，冷卻介質壓力和流量滿足要求。電氣方面需確認供電電壓穩定，接地保護可靠，控制線路連接無松動。最后確認被抽容器已清理干凈，無殘留顆粒或可凝性蒸氣，各閥門處于關閉狀態。

 

　　二、粗抽階段

 

　　啟動操作應從前級泵開始。開啟前級泵后，緩慢打開粗抽閥，對被抽容器及管路進行預抽。此階段需監視前級壓力變化，待壓力下降至分子泵允許啟動的壓力范圍內，方可進行下一步操作。粗抽過程中應避免壓力驟降過快，防止系統內微小顆粒被氣流攜帶進入泵體。

 

　　三、分子泵啟動

 

　　當前級壓力達到啟動閾值后，啟動分子泵。操作時應按下降速率要求逐步提高工作頻率，使轉子平穩加速至額定轉速。啟動過程中需持續監控振動值和軸承溫度，發現異常應立即停止并排查原因。同時保持前級泵繼續運行，確保分子泵出口壓力始終維持在前級耐壓范圍內。待分子泵達到全速且各項參數穩定后，方可緩慢開啟高真空閥，連通被抽容器。

 

　　四、運行監控

 

　　分子泵組正常運行期間，操作人員應定時記錄前級壓力、系統真空度、泵體溫度、冷卻水參數等關鍵數據。注意傾聽泵組運行聲音，察覺異常噪音或振動加劇時需及時處理。避免在運行中突然暴露大氣或通入大量工藝氣體，防止轉子因氣流沖擊而損壞。若工藝過程需通入氣體，應通過旁路調節閥控制進氣量，保持分子泵進氣壓力低于允許上限。

 

　　五、正常停機

 

　　停機前首先關閉高真空閥，切斷分子泵與被抽容器的連通。隨后按程序執行分子泵減速停機，待轉子轉速下降至規定值以下后方可關閉前級泵。整個停機過程不可強制快速停轉，必須讓轉子依靠慣性自然降速，以避免軸承因突然失去動壓支撐而損傷。停機后保持冷卻系統繼續運轉一段時間，待泵體溫度降至常溫后再關閉冷卻水。

 

　　六、緊急停機

 

　　遇供電故障、冷卻中斷、異常振動或工藝失控等情況時，應立即執行緊急停機。迅速關閉高真空閥，隔離被抽容器，同時切斷分子泵電源并啟動應急保護程序。若短時間內無法恢復供電，應在轉子停轉后及時向泵內充入干燥惰性氣體，防止大氣倒灌和油蒸氣返流污染。

 

　　遵循上述操作流程，規范執行每個環節，可有效保障分子泵組長期穩定運行，降低故障發生率，延長設備使用壽命。