D07-7質量流量控制器/流量計是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流量。D07-7產品是七星流量計基礎款產品，能滿足客戶流量測控基本需求。

產品型號：

更新時間：2025-10-23

廠商性質：生產廠家

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七星華創/華丞電子

氣體質量流量控制器

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產品介紹

質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

D07-7質量流量控制器/流量計具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定可靠、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安裝, 并便于與計算機連接實現自動控制。 D07系列質量流量控制器一般與 D08系列流量顯示儀等產品配套使用,控制器與顯示儀之間用專用電纜連接。

特點：

　　• 橡膠密封、模擬電路的MFC

　　• 管狀分流，使用壽命長

D07-7質量流量控制器/流量計技術參數：

編號	類型	D07-7K 型	D07-7B 型	D07-7C 型	D07-7CM 型
1	流量規格	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
2	準確度	±1 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S	±1.5 % F.S
3	線性	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S	±1 % F.S
4	重復精度	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S	±0.2 %F.S
5	響應時間	電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec	電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec	電特性: 10 sec; 氣特性: ≤ 4 sec	10 sec
6	氣壓降	ˉ	ˉ	ˉ	<0.01 MPa
7	工作壓差范圍	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	(0.1 ~ 0.5) MPa	<0.01 MPa
8	溫度系數	Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	最大工作壓力	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
10	耐壓	3 MPa	3 MPa	3 MPa	3 MPa
11	工作環境溫度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	輸入輸出信號	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)
13	電源	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	重量	1.1 kg	1.1 kg	1.1 kg	0.92 kg