D07-9質(zhì)量流量控制器/流量計是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-9產(chǎn)品是華丞電子研發(fā)精度高、響應(yīng)時間快的模擬產(chǎn)品。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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七星華創(chuàng)/華丞電子

氣體質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品介紹

質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量；質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

D07-9質(zhì)量流量控制器/流量計具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 采用國際標準接頭, 其操作使用方便, 可任意位置安裝, 并便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。

D07系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計一般與 D08 系列流量顯示儀等產(chǎn)品配套使用, 控制控制器與顯示之間用專用電纜連接。

特點

• 中流量型
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 分流器不易堵塞
• 采用DB15型電插頭，國際標準機械接頭

D07-9質(zhì)量流量控制器/流量計技術(shù)參數(shù)

類型	D07-9E 型	D07-9EM 型	D07-9F 型	D07-9FM 型
流量規(guī)格	( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM	( 0~20,30,50,100,150,200,250) SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM	0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
準確度	±2 % F.S.	±2 % F.S.	±2% F.S.	±2 % F.S.
線性	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1% F.S.	±1 % F.S.
重復(fù)精度	±0.2 % F.S.	±0.2 % F.S.	±0.2% F.S.	±0.2 % F.S.
響應(yīng)時間	(1 ~ 4) sec	(1 ~ 4) sec	≤ 4sec	≤4 sec
工作壓差范圍	20 , 30 SLM: (0.05 ~ 0.30) MPa （7.3~43.5 psid） 50,150 SLM: (0.10 ~ 0.30) MPa （14.5~43.5 psid） 200,250 SLM: (0.15 ~ 0.30) MPa （21.8~43.5 psid）	-	20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) 50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid) 200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)	-
氣壓降	-	20~100SLM: <0.02 MPa （2.9 psid）; >100SLM: <0.05 MPa （7.3 psid）	-	20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid); >100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)
最大工作壓力	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
耐壓	3 MPa （435.1 psig）	3 MPa （435.1 psig）	3 MPa (435.1 psig)	3 MPa (435.1 psig)
工作環(huán)境溫度	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5℃ ~ 45℃	5 ℃ ~ 45 ℃
輸入輸出信號	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA)	4~20 mA 或 1~5 VDC	4~20 mA 或 1~5 VDC
電源	+15 V 50 mA -15V 400 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA	24VDC 400 mA	24 VDC 100 mA
重量	2.6 kg	1.5 kg	2.6 kg	1.5 kg